全自动双炉滑动CVD系统（1200℃Max）

全自动双炉滑动CVD系统（1200℃ Max） OTF-1200X-S2-50SL-CV

·采用双炉体滑动结构。

·采用触控一体机控制三个模块系统。

·可存储实验参数生成工艺曲线，可调取工艺曲线一键运行设备。

·采用双层壳体结构，并带有风冷系统。

·炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维，的减少能量损失。 

·电压：单相 AC220V 50/60Hz

·温度: 1200℃ (<30min)>

·额定温度: 1100℃

·推荐升温速率：≤10℃/min

·加热区长度200mm

·两台加热炉功率：2.4KW

·高纯石英管Ф50*1500mm

·设备总功率4KW

·加热炉是手动滑动，可以选配电动（一台炉子固定，一台炉子滑动）

· 包含一款518系列型温度控制器

· PID自动控温系统

· 智能化30段可编程控制

· 默认DB9 PC通讯连接端口

· 控温精度：±1℃

 所有的电气元件都通过UL或MET认可，并可通过世界范围内的其他相关安全测试

· 一套Ф50不锈钢密封法兰

· 法兰和石英管采用，O型圈+压环+O型圈，螺纹压紧密封

· 左侧法兰装有机械压力表、针阀、G1/4进气口、机械泄压阀（压力超过0.02MPa自动泄压）

· 右法兰装有压力传感器、电磁泄压阀，KF25抽气口

·四通道质子流量控制系统可实现气体流量精确控制（±0.02%）

·流量范围: 一路0-100SCCM

      二路0-200SCCM

        三路0-200SCCM

      四路0-500SCCM

·气体进出口配件：6.35mm的聚四氟管或不锈钢管；

·电磁阀控制气体进出

·可以通过触控一体机进行流量设置

· 配套机械泵，真空度可以达到10-2 ttor

· 配套分子泵，真空度可以达到10-5 ttor（选配）

1.通过触控一体机可以手动和自动控制加热炉系统，供气系统，真空系统

2.预设工艺自动控制流程步骤如下图

3.加热炉温度，管内真空，进气流量，这些数据可以实时记录。如下图

4.软件有工艺曲线自动生成功能，把加热炉温度，真空度，进气流量等参数进行存储生成工艺流程，可以存储100条工艺流程，也可以调出工艺流程一键自动运行设备。

5.具有远程监控和控制设备的功能。

6. 软件具有可扩展型，可针对CVD系统进行硬件扩展，扩展范围包括我公司所有类型CVD硬件设备

· 外形尺寸：2100*750*1220mm（长*宽*高 ）  

约210kg

1年（不包含炉管，氟胶O型圈和加热元件等损耗件）